壓力傳感器是一種將壓力信號轉(zhuǎn)變成電信號的傳感器,主要分為靜態(tài)和動態(tài)壓力傳感器兩種。高頻以壓電式壓力傳感器為主;低頻靜態(tài)以壓阻硅、應(yīng)變式壓力傳感器為主。動態(tài)壓力傳感器主要應(yīng)用于爆炸物理、風洞試驗、自由場壓力測量領(lǐng)域;靜態(tài)壓力傳感器主要應(yīng)用于安全控制、生產(chǎn)過程控制等領(lǐng)域。
壓力傳感器,是指以膜片裝置(不銹鋼膜片、硅酮膜片等)為媒介,用感壓元件對氣體和液體的壓力進行測量,并轉(zhuǎn)換成電氣信號輸出的設(shè)備。
壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。
力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器,它是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,也包括測量高于大氣壓的壓力計以及測量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、笨重、輸出非線性。
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,因此半導體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應(yīng)力時,其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴散型壓阻式。更多壓力傳感器文章請訪問http://m.88889218.cn