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壓力傳感器的過(guò)載保護(hù)

發(fā)布時(shí)間:2020-07-21 08:47人氣:

壓力傳感器有兩項(xiàng)參數(shù):安全過(guò)載和極限過(guò)載,過(guò)載是指施加在壓力傳感器上的力超過(guò)壓力傳感器的量程。一般來(lái)說(shuō),壓力傳感器安全過(guò)載范圍為150%FS,極限過(guò)載范圍為200%FS。過(guò)載現(xiàn)象是電流過(guò)大,電氣設(shè)備被加熱,線路的長(zhǎng)期過(guò)載會(huì)降低線路的絕緣水平。甚至燒毀傳感器設(shè)備或布線;嚴(yán)重過(guò)載情況下甚至?xí)?dǎo)致壓力傳感器彈性體變形而無(wú)法恢復(fù)導(dǎo)致傳感器報(bào)廢。過(guò)載保護(hù)是指即使負(fù)載超過(guò)額定負(fù)載,也不會(huì)有線路燒壞,但也有一定程度,一般為150%FS,并且不能繼續(xù)過(guò)載工作。

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壓力傳感器有多種形式,每種結(jié)構(gòu)的過(guò)載保護(hù)設(shè)計(jì)方法也不同。許多方法各有優(yōu)缺點(diǎn)。使用MEMS技術(shù)的小范圍,高靈敏度壓力傳感器通常具有平膜,島膜,梁膜和其他結(jié)構(gòu)通常在設(shè)計(jì)過(guò)載保護(hù)時(shí)通過(guò)凸起和其他方法實(shí)現(xiàn)。形成方法包括背蝕刻技術(shù),硅直接鍵合技術(shù)和玻璃蝕刻技術(shù)。然而,這些結(jié)構(gòu)通常具有很大的局限性,因?yàn)榍怀叽绱螅`敏度進(jìn)一步受限,并且硅晶片的利用率降低,制造工藝的復(fù)雜性增加,并且生產(chǎn)成本增加。
目前,小范圍和高靈敏度壓力傳感器的研究重點(diǎn)集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器上。這主要是因?yàn)闋奚鼘咏Y(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片非常薄,厚度可以是2μm甚至更薄。在如此薄的結(jié)構(gòu)中,如果使用擴(kuò)散硅或多晶硅膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻,則其厚度相對(duì)較大,這對(duì)彈性膜片的應(yīng)力分布有很大影響,這是不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化。因此,使用多晶硅納米薄膜來(lái)制造應(yīng)變電阻器可以進(jìn)一步利用犧牲層技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。
過(guò)載保護(hù)是每種傳感器的考慮因素,因?yàn)闇y(cè)量值可能大于使用期間的范圍。只有設(shè)計(jì)有過(guò)載保護(hù)的傳感器才能更好地使用,并且可以使用更長(zhǎng)時(shí)間。如何設(shè)計(jì)每個(gè)傳感器的過(guò)載保護(hù),過(guò)載范圍不同,所以無(wú)論您購(gòu)買(mǎi)哪種傳感器,都必須知道它有多少過(guò)載保護(hù),以便將來(lái)使用更方便。由于過(guò)載,也沒(méi)有燒毀電路的情況。
盡管傳感器有一定的過(guò)載保護(hù)功能,仍請(qǐng)不要讓傳感器過(guò)載使用。作為廠家,我們建議選取壓力傳感器的時(shí)候,應(yīng)先考慮傳感器的量程,計(jì)算出設(shè)備最大的推力或者拉力(包括可能產(chǎn)生的沖擊力),在精度允許范圍內(nèi)盡量選大傳感器量程,以避免傳感器過(guò)載使用!更多壓力傳感器相關(guān)文章請(qǐng)見(jiàn)滄正傳感官網(wǎng)http://m.88889218.cn

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