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壓阻式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器

發布時間:2020-09-30 08:30人氣:

壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
壓阻式壓力傳感器的工作原理是當壓敏電阻受壓后產生電阻變化,通過放大器放大并采用標準壓力標定,即可進行壓力檢測。壓阻式壓力傳感器的性能主要取決于壓敏元件(即壓敏電阻)、放大電路,以及生產中的標定和老化工藝。
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壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應制成的。正壓電效應是指:當晶體受到某固定方向外力的作用時,內部就產生電極化現象,同時在某兩個表面上產生符號相反的電荷;當外力撤去后,晶體又恢復到不帶電的狀態;當外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產生的電荷量與外力的大小成正比。逆壓電效應又稱電致伸縮效應,是指對晶體施加交變電場引起晶體機械變形的現象。用于電聲和超聲工程的一般使用逆壓電效應制造的變送器。壓電式壓力傳感器一般用來測高頻的動態力。更多壓力傳感器相關文章請訪問滄正傳感http://m.88889218.cn

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